二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9194326 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款可靠、创新的晶圆测试和计量设备,旨在提供高速、non‐destructive的晶圆表面地形分析。它测量临界曲面参数,如总宽度、peak‐to‐valley高度、步长、平均粗糙度以及缺陷宽度和深度。KLA 7600 Surfscan系统由光学显微镜、图像处理子系统、X-Y级和计算机化控制器四个部分组成。光学显微镜具有高分辨率、高对比度的成像单元,可以在正常和低光条件下捕捉高分辨率图像。图像处理机能够从捕获的图像中提取精确的表面参数。X-Y级提供晶圆样品的高度精确平移,计算机化的控制器使整个测量过程自动化。该工具具有广泛的功能,包括晶圆地形测量、关键尺寸测量、缺陷尺寸量化、平坦度分析、电气检查和电阻率测量。它支持多种样品类型和尺寸,包括大幅面晶片、小模具尺寸和复杂样品。TENCOR 7600 Surfscan拥有一套功能强大的应用程序和分析工具,可让客户分析、分析和显示结果。这些工具使用户能够比较两个不同的曲面,检测退化区域,并根据结果做出关键决策。此外,该资产是高度可配置的,因此用户可以根据其应用程序需求定制分析和结果。此外,该模型还为用户提供了高级图像校正功能,允许用户精确测量具有不同长宽比、纹理和地形的曲面。7600 Surfscan设备能够同时进行低速和高速晶圆检查。它为用户提供了自动化操作,使他们能够快速收集数据。获得专利的自动对焦系统可确保在分析的每个步骤中都有高质量的图像。该设备也是用户友好的,具有直观的颜色编码界面,有助于易于使用。总体而言,PROMETRIX 7600 Surfscan是一台功能强大且可靠的晶圆测试和计量机,使用户能够快速准确地测量晶圆地形。其广泛的功能、高分辨率和可配置的平台使其成为半导体行业晶圆测试和计量的首选。
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