二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是为高吞吐量和质量控制应用而设计的晶圆测试和计量设备。它使用先进的光学、传感和图像处理技术来精确测量晶圆表面的临界尺寸（CD）和地形，使制造商能够检测生产缺陷，验证关键的器件层特征，并测量迭加精度。该系统由一台电动光学显微镜、两台高分辨率激光器、一台数码相机和一套集成软件组成。显微镜用于检查和成像直径不超过9英寸的晶片表面。激光测量多个区域的特征，并提供高达0.25微米的垂直分辨率。相机捕捉12 MP彩色图像验证缺陷，软件套件提供CD和胶片测量、实时图像比较等功能强大的实时分析功能。KLA 7600 Surfscan能够测量分辨率高达0.25微米的薄膜和设备,使制造商能够准确检测生产缺陷,开发优化的工艺流程,并创建高产量的设备批量优化（DMO）程序。该单元也是高度可靠，发出最小背景噪声和提供无与伦比的准确性和可重复性。TENCOR 7600 Surfscan是晶圆测试和计量应用的理想选择，快速可靠地提供高精度结果。其易于使用的集成软件套件针对数据采集、统计过程控制（SPC）和高级分析进行了优化,使用户能够快速高效地检查和分析晶圆曲面。此外,该机器结合了先进的光学技术、高分辨率激光器、强大的软件和对多种基板的支持,有助于确保制造商能够在晶圆测试和计量应用中经济高效地取得一致的高质量结果。