二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943 待售
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ID: 9274943
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Particle inspection station, 8"
Patterned surface inspection system
ARGON Laser
Power supply: 208 V, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,将晶圆地形和形态的测量和检查与自动化平台相结合。它利用先进的计量硬件和软件创新,为流程工程师提供可重复和可靠的结果。Surfscan 7600是一种通用系统,用于多种行业,包括半导体、平板显示器和光伏。KLA 7600 Surfscan结合了无接触光学单元和非接触表面测量技术,提供高分辨率、可重复的地形测量和图像。它利用高分辨率CCD摄像机在样品表面轮廓的水平和垂直方向上捕获多达200张图像。此外,该机器还包含一个8轴自动样品级,以实现对整个样品的高精度扫描。这种自动扫描和非接触光学分析的组合允许在没有机械用户输入的情况下对异构样本进行快速、高度精确的拓扑测量。对于分析,7600具有多个分析包,包括流行的用于3D轮廓分析的SP3D软件和用于粗糙度分析的MV3D。利用并行体系结构,SP3D可以快速处理数据以进行测量,例如步高、单一或多个焦点深度的成像、缺陷、颠簸、特征区域和偏差。Surfscan 7600还支持各种用于统计数据收集和分析的行业标准计量软件包。TENCOR 7600 Surfscan配备了许多增强其计量能力的实用功能。诸如一键式自动对准、自动样本扫描和精确的x-y-z分析等功能,床区允许来自多个样本大小的数据。此外,7600还配备了内部环境控制工具,以确保样品剖面测量在不同温度和相对湿度下的稳定性,使资产能够在不同地理和气候下进行准确测量。最后,7600采用了软件驱动的样品处理模式,使晶圆的手动和自动处理成为可能。总体而言,7600 Surfscan是一种先进的晶圆测试和计量设备,其独特设计用于测量和检查异构样品的地形特征。它为流程工程师提供了可靠、可重复的结果,并结合了硬件和软件创新技术,使其与竞争对手脱颖而出。它具有高分辨率的成像能力、全面的分析包以及温度/湿度稳定性,使其成为各种行业中的宝贵工具。
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