二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9299452 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一种晶圆测试和计量学设备,具有先进的技术平台,能够对各种半导体和光电子应用进行关键检查、表征和过程控制。该系统由扫描电子显微镜（SEM）模块和原子力显微镜（AFM）模块两个模块组成。SEM模块提供高分辨率成像和自动化测量,以便对晶圆地形和表面缺陷进行深入分析。它可以检测微米级表面缺陷，以及测量和分析阶梯高度、边缘粗糙度和中心线粗糙度等特征轮廓。AFM模块在环境和真空条件下运行，以纳米级分辨率提供原子级分辨率成像。它可用于表征表面和纳米结构，以支持工艺开发、生产监测和故障分析。KLA 7600 Surfscan通过其自动对准、扫描、测量和数据分析功能来简化晶圆计量。该装置包括一个快速、精确和安全的晶圆处理机.它配备了高分辨率彩色CCD相机和电动XY级，可以快速将晶片以可重复的精度移动到所需的位置。该工具还配备了自动换镜器和对焦机构，可以将显微镜物镜更改为最合适的设置，提供更高的分析精度和重复性。此外,TENCOR 7600 Surfscan还包括功能强大的数据处理资产,可通过图表、编辑和报告功能收集和分析可交付数据。总体而言,7600 Surfscan是一种功能强大的晶圆测试和计量模型,它结合了先进的技术、安全的晶圆处理和复杂的数据处理,从而实现了快速准确的缺陷分析和故障分析。该设备能够检测和表征表面缺陷和纳米结构，从而能够对各种半导体和光电应用进行关键的过程控制。