二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9377353 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一种机器人晶圆分析设备，设计用于半导体制造过程。它具有良好的可靠性和重复性，能够进行测试和计量。KLA 7600 Surfscan采用模块化设计,由多个组件组成,可根据用户的特定需求进行调整。该系统使用先进的5DOF Ekpyrotic Probe来绘制和分析晶片的表面地形。该探测器能够进行深入、快速和精确的扫描和计量。Ekpyrotic Probe的工作面积为450mm,步进分辨率为100 μ m,可提供无与伦比的精度和速度。高精度机械元件为精确的测试和计量提供精确的运动控制。旋转桌面确保晶片在测量和分析过程中保持最佳位置。它由高扭矩、高精度直流电动机驱动，并通过精确的伺服控制环路进行管理。所有原始测量数据都收集并存储在7600软件提供的SQL数据库中。此综合存储单元能够存储数百万点的专有和标准扫描数据集。SQL数据库的灵活性和可扩展性允许进行复杂的数据分析和操作。TENCOR 7600 Surfscan使用自定义算法生成可靠的计量数据。扫描算法根据用户定义的参数启动、测量和跟踪轮廓。晶圆数据可以与期望值进行比较，测量中的任何异常都可以快速识别。该机器具有图形用户界面（GUI）,易于操作和支持。与7600软件集成的GUI使用户能够自定义设置并分析数据,从而获得更深入的见解。此外,GUI还为用户提供了分步说明和可视反馈,以方便地运行复杂的测试并监控工具的进度。PROMETRIX 7600 Surfscan是一款用途广泛、功能强大的晶圆测试和计量工具。其先进的机器人扫描、可定制的资产模块、高精度电机和直观的软件套件使其成为高精度晶圆分析的理想选择。