二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9394280 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan是一款突破性的晶片测试和计量设备，结合了最先进的光学和先进的分析，以前所未有的速度和精度测量晶片的物理和电气特性。该系统用于半导体、MEMS器件、集成电路和其他基于晶圆的应用的材料的生产或研究级别分析。KLA 7600 Surfscan设备具有自动晶片处理机,可快速、精确地在其每个仪器和子系统之间传输晶片。这有助于快速测试和数据采集,从而可以比传统的手动方法更早地检测过程异常。此外，该工具还拥有一个具有综合环境控制的原位洁净室资产，以确保分析在受控环境中进行。该模型的计量功能包括先进的3D轮廓显微镜,用于测量晶圆的拓扑结构并帮助识别步长和表面粗糙度的问题。它还有一个光学扩频（OSS）成像设备，可以检测特征大小和形状的微小变化，以及小颗粒。此外，该系统还配备了一个光散射单元，用于测量晶圆表面的颗粒污染，并可以识别过程中的潜在污染源。最后，TENCOR 7600 Surfscan机器可以测量晶片的电气特性，有助于保证生产没有缺陷。该工具还具有增强的软件功能，可用于实时查看和分析数据。对于执行研究或生产的用户,软件可以生成包含详细分析和可操作建议的报告,以便快速轻松地发现和识别过程缺陷。此外,该资产完全符合SEMI标准,可以准确收集和报告数据。简而言之，7600 Surfscan是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量模型，非常适合研究和生产应用。它结合了先进的光学和分析技术,使用户能够快速准确地识别和分类缺陷,从而提供更好的质量保证。