二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #293595751 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一种晶圆测试和计量设备，有助于改善半导体器件生产过程控制和降低成本。该系统采用光学和电气计量技术，以低噪声、高精度和高速度测量晶圆和模具特性。该单元执行扫描区域的光学测量、缺陷的无损测量以及对过程吞吐量影响最小的其他过程。机器由多种组件组成，包括测试室、测量臂和数据处理器。试验室是专门设计的降低噪声、提高测量精度的环境。试验室包括光源、照相机和分束器。光源照亮晶片和模具元件。摄像机捕获组件反射的光的图像并将其传输到测量臂。将照明光源产生的光模式与预定义的参考模式进行比较，以检测和量化差异。测量臂包含一组传感器,用于测量获得的图像并将其发送到数据处理器进行分析。数据处理器处理从测量臂收集的信息并生成结果。结果可以包括定量测量和缺陷检测，通常保存在数据库中，供以后检索和分析。该工具还提供了多种改进过程控制的功能。例如,资产支持背面检查,分析模具的背面是否存在质量问题。此外,用户可以创建自定义缺陷类型和数据库,从而更容易识别更复杂的缺陷。此外，用户可以利用高级算法来提高测量的准确性。总体而言,KLA AIT I是一种功能强大的晶圆测试和计量模型,为用户提供了一种可靠而高效的产品质量测量方法。该设备具有低噪声和高精度测量以及多种功能,可帮助显着改善过程控制并降低成本。
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