二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9139695 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一种综合性晶圆测试和计量设备，设计用于提供晶圆的准确和可靠的测量。该系统能够以最短的时间和精力对薄片和厚片进行无损检测和测量。该单元利用先进的技术和算法来检测和识别从表面特征和微小缺陷到晶体学缺陷的缺陷。它还包含一系列用于分析和报告晶圆测试结果的集成软件工具。机器的核心是专为晶圆测试和计量设计的专利KLA自动检验工具（TENCOR AIT）。PROMETRIX AIT使用差分成像技术将表面特征映射到3 nm范围内的精度,其内置的高级算法甚至可以检测和识别最小的缺陷。该工具还集成了自动化光学计量的高级算法，允许快速准确地测量晶圆的形状和厚度。该资产还具有KLA/TENCOR/PROMETRIX微成像程序（TMIP）,它提供了一个易于使用的用户界面来进行晶圆测试。TMIP使用户能够创建自定义缺陷检测程序,这些程序可以根据其特定晶圆测试应用程序的特定需求进行定制。然后,这些自定义程序可以在KLA AIT上自动执行,从而允许快速且一致的晶圆测试,且用户干预最少。TENCOR AIT模型通过一系列高级统计分析工具来补充TMIP用户界面。设备包含一个集成的直方图引擎，可以产生强大的趋势分析和统计报告。这些报告可以详细推断晶圆表面的颗粒密度或缺陷均匀性等缺陷的发生率。KLA AIT I非常适合一系列晶圆测试和计量应用，如半导体器件制造、光刻和蚀刻。该系统能够以极少的操作员干预提供极其准确的结果，使其成为生产高质量晶片的宝贵工具。