二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9171311 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是由KLA和TENCOR创建的晶圆测试和计量设备。KLA AIT I是一种自动检查和测试系统（AIT），旨在对准和测量晶圆图像，以确保在半导体晶圆上测量小结构和图样时的可重复性和准确性。TENCOR AIT I包括配备CCD相机和xyz扫描仪台的Autoscope显微镜和集成成像平台。显微镜提供高分辨率成像和广泛的平衡和分辨率设置，以优化各种类型的晶圆。集成成像平台包括分割、模式识别和模式生成过程的算法，使用户能够轻松生成模式文件并测量晶圆的特性。该设备利用双轴扫描机来控制扫描速度并确保精确的晶圆对准。双轴工具与自动显微镜通信，完成自动晶圆检查过程。资产可以配置为扫描晶片上的X-Y坐标位置,最大扫描长度为8英寸,使其能够测量晶片的大面积。AIT I使用TOK光学工件来确保测量的准确性和可重复性。精密光学制品尺寸和形状相同，用于参考显微镜的物镜，根据标称显微镜参数校准视场。光学制品还使模型能够在晶圆上的不同位置精确和重复地测量各种尺寸，从而确保精确和可靠的晶圆测量。PROMETRIX AIT I包括一个预先编程的测量策略库,可用于快速设置和控制检查软件。这些策略涵盖了广泛的检查类型,包括关键维度（CD）、线宽或放大器。此外,KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I提供出色的图像分辨率和对比度级别,以帮助获得复杂光学测量的可重复、可靠的结果。总体而言，KLA AIT I是一种精确可靠的晶圆测试和计量设备，具有集成的软件和硬件解决方桉，使用户能够实现精确的测量并最大限度地提高半导体晶圆的产量。TENCOR AIT I以其通用的双轴扫描系统、预编程的测量策略和精确的光学伪像,为高效可靠的晶圆测试提供了一个多功能的解决方桉。