二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是由KLA Corporation和TENCOR Corporation开发的晶圆测试和计量设备。该系统设计用于制造过程中半导体晶片的高速、精确分析。它是一个自动化晶片检查和计量装置，能够测量晶片的线宽、平整度、覆盖对齐度和表面拓扑，具有极高的精度和重复性。KLA AIT I使用Total Measurement Software （TMS）和Applications Programming Interface （API）等专有技术来获得准确且可重复的结果。该机器包含晶圆分析中心（WAC）,该中心将TMS和API功能与其他组件（如传感器和成像头、网络数据采集集线器和晶圆处理器）集成在一起。传感器和成像头利用电荷耦合器件（CCD）扫描和测量具有不同扫描宽度、采样密度和测量能力的晶片。网络数据采集中心从传感器和成像头收集和分析数据,以准确生成晶圆特性的全局图,用于质量控制。晶圆处理程序允许TENCOR AIT I工具移动和引导晶圆精确定位以进行边缘检测和测量。Total Measurement Software （TMS）负责控制传感器和成像头,显示收集的数据,并根据需要将测量结果流式传输到打印机或计算机。TMS还包含许多线性和非线性近似值,其中包含用于确定晶圆适用性的缺陷度量工具和特征绘图仪。应用程序编程接口（API）连接到各种第三方系统,如CAD、可视化、数据采集和晶圆制造系统。这使TMS能够轻松集成到用户的现有体系结构中。API还允许开发人员在各种环境中创建和开发自定义晶圆分析软件。总体而言,该资产是一种精确可靠的晶圆测试和计量模型.PROMETRIX AIT I是晶圆质量控制的绝佳选择。