二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9277680 待售

ID: 9277680
晶圆大小: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是领先的晶圆测试和计量设备,它提供尖端的应用和测量工具,以减少测试和测量过程的时间和成本,同时提高结果的质量。该系统包括高度先进的算法来分析不同厚度和形状的晶片的缺陷和非均匀性。该单元支持各种晶圆计量应用,适用于半导体行业的各个细分领域,如晶圆级工程、工艺开发、后工艺工程、产量优化、器件表征等。KLA AIT I机器支持多种传统的晶圆计量技术,如焦点变化、步高分析和扫描电子和原子力显微镜。它还支持先进的缺陷检测和分析,包括通过深度、边缘衍射和CD传输的临界尺寸(CD)蚀刻深度、CD线宽。该工具包括测试头、计量资产和测量工具三个部分。测试头是一个机动化的晶片架,设计用来容纳多个晶片,允许测量不同设备时精确对准。计量模型包括一套软件工具,旨在分析、监控和优化流程操作。测量工具是一个先进的CMOS相机,拍摄晶圆的高分辨率图像,允许精确和详细的缺陷检测和分析。TENCOR AIT I设备结合了复杂的图像分析算法,使其能够检测和分析多个晶片上甚至最小的缺陷和均匀性问题。该系统还提供快速的晶圆级对齐和测量过程变化,从而能够对产品质量和过程优化做出快速而准确的决策。总体而言,AIT I是一个综合性晶圆测试和计量单元,旨在帮助将成本降至最低并提高效率。通过将高级自动化工具与高性能成像和图像分析相结合,PROMETRIX AIT I机器使晶圆制造商能够准确快速地识别缺陷和一致性问题。这有助于他们快速优化流程,以获得最佳性能和最高质量。
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