二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9278329 待售

ID: 9278329
晶圆大小: 6"
Inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是先进的晶圆测试和计量设备,用于先进的半导体晶圆制造和研究。它可以快速高效地提供全面的检测、测量和制造数据,包括正面和背面晶圆检测。该系统设计为高度可靠和准确,确保最大性能和最高产量水平。KLA AIT I由包括检测站、图像采集机、自动光学工具和数据管理资产在内的组件组成的集成单元组成。检测站是一个定制设计、多传感器、自动化光学检测台,提供模具上静态参数测试,以及不同结构的动态参数测试。图像采集模型以高于标准分辨率的晶片检测系统获取和处理晶片图像。它还可以检测到划痕、裂缝、凹坑等缺陷以及其他不规范之处。自动光学设备提供了一整套计量功能,包括晶圆轮廓、自动对焦、曲率半径、临界尺寸(CD)测量和迭加。它还配备了先进的导航系统,以帮助引导和监控系统的运行。数据管理单元高度可靠,拥有一整套分析和可视化工具,提供理论、实时和历史比较。总体而言,TENCOR AIT I晶片测试计量机是先进的半导体晶片制造和研究的有效、可靠的解决方桉。凭借其易于设置和稳健的操作,它为客户提供了最全面的晶圆检查、测量和制造数据。通过利用最新技术,它可以实现明确和经济高效的解决方桉,提高产量和质量,而不是其他方法。
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