二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9379558 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供最大精度和速度,同时为用户提供高级检测和过程控制解决方桉。该系统是一个集成的光学和机械单元，能够自动检查和测试直径不超过200毫米的晶片。KLA AIT I最有利的特点是能够提供非常高精度的深度数据。它利用暗场、高强度光和斜面等照明技术的组合，将临界缺陷精确定位到亚微米级。该机器用途广泛,能够检测各种特征尺寸,如大小、形状、存在和轮廓。此外，还采用了复杂的算法来精确识别和量化晶片上的缺陷。TENCOR AIT I工具是用专门的软件编程，为用户提供自动化的过程控制解决方桉。此软件包旨在为用户提供增强的检测能力和数据一致性。它能够监视流程阶段并检测可能由于特定流程问题而产生的任何缺陷。它还提供动态控制功能,因此用户可以调整设置以进行流程优化。该资产还为用户提供了多种高级计量功能。它与一系列晶圆测试和计量探针兼容，包括涡流、接触光刻、压力法和声波振动。它能够测量各种各样的特征类型，从很小的纳米级特征到微米级。它还能够迅速发现趋势并在需要时采取纠正行动。AIT I使用现代图形用户界面（GUI）使模型易于使用和导航。这有助于显着减少操作员培训时间并提高测试吞吐量。直观的界面使用户能够快速访问测试结果、排序数据和自定义测试设置。最后,PROMETRIX AIT I是一种理想的晶圆测试和计量设备,适合寻求最高精度和速度的用户。它结合了自动检查、高级过程控制和计量功能，使其成为晶圆测试应用的绝佳选择。
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