二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-500 #293646052 待售

ID: 293646052
Film thickness probe system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500是一种高端晶圆测试和计量解决方桉,旨在满足半导体生产的严格需求。KLA FT-500具有先进的自动化和一系列检查和分析功能,是一种多功能设备,可为半导体制造过程的关键方面提供单一解决方桉。TENCOR FT-500包括光学检查、高分辨率成像、基于图像的模式识别和自动缺陷分类(ADC)功能。这种功能的组合使系统能够识别和分类晶圆的自动化流程中的潜在缺陷。有了分析整个晶片图的能力,就有可能发现过程诱导产量和性能的变化。这些数据可用于确定质量差的样品和有缺陷的零件的根本原因。FT-500还提供了一整套光学计量功能。该单元可以用纳米精度测量关键模具尺寸、迭加对准和特征的痕迹边缘。此外,PROMETRIX FT-500还具有特定于计量的成像技术和晶圆映射功能,以评估工艺和材料。KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-500具有易于使用的嵌入式机器人处理程序,可支持直径不超过200毫米的晶片。自动处理程序以每小时400晶圆的速度运行,以实现最大的生产力。此外,该计算机完全可定制,具有多种选项和灵活的配置。最后,KLA FT-500设计可靠高效.作为半导体检测计量的基础,提供了快速的生产、可靠的性能和先进的晶圆级缺陷分析。利用这些先进的方法和技术,TENCOR FT-500是半导体生产环境的理想解决方桉。
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