二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX FT-650 #293646045 待售

ID: 293646045
Film thickness probe system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-650是一种在半导体工业中广泛使用的最先进的晶圆测试和计量设备。KLA FT-650具有创新的光学成像功能,能够在单个产品扫描中快速、非接触式测量各种公制值。该系统允许对任何基板上的半导体复合材料、介电膜、针孔膜、金属膜和其他薄膜材料进行快速准确的测试和表征。TENCOR FT-650提供多种高级功能来优化晶片测试,包括多级基准、光学多路复用、基于非接触的多通道地形测量和自动模式识别。此外,FT-650系统的光学设置允许同时测量设备上各个位置的多个晶片。PROMETRIX FT-650利用高度先进的3-D光学显微镜系统来测量和分析基板上的各种微观特征。KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-650生成的3-D光学图像可以通过软件的内置高级模式识别功能进行进一步分析。这一特性允许非常快速和准确的晶圆识别和分类。该机精度高,可重复性高,适用于薄膜计量应用。KLA FT-650是薄膜计量应用的理想选择,如薄膜表征、晶圆经度测量、薄膜厚度测量和器件表征。凭借其高分辨率图像,TENCOR FT-650工具使用户能够准确识别和表征基板上的微小特征。FT-650资产的数据输出方便用户,并且与各种行业标准格式兼容。PROMETRIX FT-650使用户能够导出时间戳数据,以便以后进行审查或集成到第三方计量软件包中。收集的数据可用于进一步分析或下游产品开发过程,如故障分析(FA)或产量改进(YS)。总体而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX FT-650是一种高级晶圆测试和计量模型,旨在在单个产品扫描中实现快速、准确的测量。KLA FT-650具有3D光学显微镜系统、自动模式识别以及与行业标准格式的数据输出兼容性等高级功能,是薄膜应用和分析的宝贵工具。
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