二手 KLA / TENCOR FT-750 #69314 待售

KLA/TENCOR FT-750是一种晶圆测试和计量设备,专为200 mm以下的前端生产过程而设计,旨在提供要求苛刻的蚀刻和阵列应用所需的精度和准确性。高度自动化的系统可以分析包括亚表面线、超宽和缺失线缺陷在内的多种缺陷类型，以及测量线宽、薄膜厚度和表面阻力。KLA FT-750晶片测试和计量单元是建立在一个真正的成像CDSEM的概念，它结合了优越的分辨力，优越的模式对比度和广泛的对比度范围，确保准确的缺陷检测。TENCOR FT 750机器利用先进的高分辨率光学器件，提供高达0.20微米的分辨率。该工具包含一个自动真空吊舱，为快速样品交换创造了恒定的高真空，增加了吞吐量。FT-750包括一个模片式自动晶片映射工具以及高级软件工具,如多标准评价算法,以便对各种缺陷和过程特性进行详细分析。KLA/TENCOR FT 750还提供了强大的深度分析功能,这是一项重要功能,使用户能够全面了解样品,最大限度地提高缺陷调查和过程控制。该资产设计为可配置和可扩展,允许用户自定义和升级模型以满足其需求。KLA FT 750设备非常可靠,这要归功于除尘算法等功能,使系统能够以最高性能运行并减少晶圆断裂。该单元还包括用于高通量测量的索引表和自动提升接触器。开放接口允许FT 750轻松集成到现有的工艺监控平台中，为运营商提供晶圆条件的详细信息。综上所述,TENCOR FT-750是一种高度可靠的自动化晶圆测试和计量机器,旨在支持高达200 mm的前端生产过程。该工具提供高达0.20微米的分辨率、可自定义和可扩展的配置、缺陷检测和过程控制以及集成接口,使资产适合任何生产环境。