二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9105990 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一款领先的晶圆测试和计量设备。它为晶圆制造提供重要的测量和验证服务，使其成为半导体生产过程中必不可少的一部分。该系统可以测量、分析、显示和控制从初始晶片到成品的多个工艺参数。KLA M-Gage 300提供高级晶圆测试和计量功能。它利用其光学散射场显微镜（OSM）技术,结合多波长椭圆偏振（MWE）提供临界维度（CD）计量测量。这为晶圆材料提供了高分辨率的测量，如钢、有色材料、石英/陶瓷和有机聚合物。该装置还能够进行全场高速成像，用于检查和测量晶片。它使用高级极化模块（APM）来捕获晶圆地形的高度详细的表面图像,从而实现详细的缺陷表征。该机器还配备了软件，可以识别和定位晶片的缺陷，提高精度。TENCOR M-Gage 300还采用了先进的光谱分析技术，为产品优化和表征提供实时数据分析。此工具的高级性能还允许用户配置资产以实现高通量,并准确测量过程引起的晶圆上的机械应力或应变。PROMETRIX M-Gage 300提供了一整套功能,包括直观的用户界面、自动晶圆加载模型和高级计量功能。它设计用于广泛的生产环境,旨在帮助实现高效、经济高效的晶圆测试和计量,并具有高精度、准确性和可重复性。这种高性能晶圆测试和计量设备为任何晶圆制造设施提供基本服务。其功能提供了改进产品优化和制造过程控制的高级功能。使用M-Gage 300系统,制造商可以期望提高产量和降低成本,同时满足按时交付的关键要求。