二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9134678 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种晶圆测试和计量系统,旨在为先进半导体制造中的高级工艺控制提供业界领先的准确性、吞吐量和灵活性。它支持对从预粘合到成品的各种晶片进行非接触、无损检测和破坏性样品测试。KLA M-Gage 300的设计目的是确保所关注的参数保持在可接受的范围内,从而最大限度地减少因表面粗糙度、步长和电阻率等超出规格的过程而可能出现的问题。该系统具有几个关键组件，包括测量头，可以配备各种传感器来测量不同的参数。它还包括一个微处理器控制的顺序测试仪，允许复杂的多重体质测试协议在一个测试周期内执行。系统还配备了图像分析模块和晶片夹持器，使其能够精确测量晶片的大小和形状，以及探针与晶片表面的接触力。TENCOR M-Gage 300设计用于各种工艺化学，包括自旋、电镀和蚀刻工艺。它能够在一个周期内获得高分辨率的计量数据，而无需复杂的机械对准或设置步骤。PROMETRIX M-Gage 300旨在检测超出规格的缺陷并提供详细的过程分析,使其成为设计优化和过程控制的理想解决方桉。M-Gage 300在非接触晶片检测方面也表现出色，提供亚微米分辨率和低噪声性能。其先进的成像能力使它能够检测各种不同的缺陷，包括颗粒、空隙和线缘粗糙度。此外,它还包括晶片识别功能,确保正在测试正确的晶片。KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300提供多种功能,使其成为高级流程控制的理想选择,例如低运营成本和用户友好型操作。其直观的软件和全面的数据分析功能使其易于使用和理解,而其灵活性使其能够适应各种不断变化的流程要求。所有这些功能使KLA M-Gage 300成为当今先进晶圆测试和计量应用的绝佳选择。