二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9265331 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种晶圆测试和计量设备,使用先进的激光干涉技术和度量来测量跨晶圆的临界尺寸和特征轮廓。通过提供优越的临界尺寸测量,系统允许提高产量和降低废料成本。KLA M-Gage 300的激光干涉测量单元能够以纳米精度实现卓越的临界尺寸测量。它的工作原理是在晶圆上发射多个频率的激光束,然后将其反射回机器的传感器。通过分析反射光的相位,TENCOR M-Gage 300能够确定晶片上特征和尺寸的确切位置。M-Gage 300在计量测量方面设计得非常精确可靠,在精度方面提供了充分的可追踪性。它的无损测量消除了为了测量特征而打破晶片的需要,而双轴对准工具允许快速晶片加载并增加吞吐量。该资产还设计为易于使用的用户友好的图形界面。这允许快速、直观的操作,以及方便地访问历史操作数据。PROMETRIX M-Gage 300还可以连接到其他系统和网络,从而便于集成和数据共享。最后,该模型具有较长的使用寿命,设计为高能效。它的低维护要求确保它可以在更长的时间内执行稳定的测量。这反过来又有助于降低人力和能源消耗的成本。总体而言,KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种先进且高度精确的晶圆测试和计量设备。其激光干涉系统和双轴对准单元提供精确、无破坏性的纳米精度测量,而其用户友好的图形界面和较长的使用寿命使其使用方便、经济实惠。
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