二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9412382 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于先进的半导体过程控制和分析。该系统提供从裸片到复杂器件结构的晶片的完整计量，并能够对半导体工艺产量进行高级测量，如临界尺寸（CD）、薄膜厚度、电气性能和更关键的数据。该单元包括一个集成的三级真空转移模块，用于在多个腔室之间可靠地移动单个晶片。高精度运动机驱动整个过程，并提供X、Y、角度、高度和晶圆大小等广泛的运动范围。KLA M-Gage 300采用高分辨率成像和自动化测量,以提供具有可重复性和一致性的准确测试结果。该工具具有高分辨率的光学平台,具有明场和暗场光学,可捕获和分析关键图像。大视野成像资产允许大面积测量,这对于设备过程控制至关重要。TENCOR M-Gage 300融合了光学散射法、扫描电子显微镜、3D表面轮廓、椭圆偏振法和干涉测量等一系列先进的计量技术，以测量多种结构的物理和电气特性。嵌入式软件处理收集的数据，以确定物理和电气性能特性，结果以表格形式报告，供进一步分析。该模型设计灵活，适用于仪器自动切换、数据实时分析、高级软件集成、图像增强和其他高级计量技术等定制实验。它提供了一流的数据准确性和可靠性以及可重复性,以满足领先半导体制造商的要求。该设备还与M-Gage Suite软件集成，用于高级数据收集、处理和分析。该软件允许操作员使用其高级算法从收集的数据中快速获得可行的见解。该系统还采用标准协议来捕获、传输和归档数据，以便进一步分析。M-Gage 300是一个先进的晶圆测试和计量单元，旨在满足领先的半导体制造商的要求，并为他们提供精确可靠的晶圆级工艺控制测量。凭借其高分辨率的成像、自动化的测量、先进的计量和灵活的软件，操作员一定能实现质量实验和过程控制。