二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap Auto RS-55/TC #293793902 待售
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KLA Omnimap Auto RS-75/TC是一种晶圆测试和计量设备,用于半导体晶圆的检验和测量。该系统能够扫描直径可达200 mm的晶片,视野可达200 mm x 150 mm。它配备了自动化的样品装载机,能够在没有操作员协助的情况下装卸晶片。该单元的设计特点晶片在纳米级与三维范围的运动。它能够测量各种几何形状,包括高度、厚度和覆盖精度。该RS-75/TC还支持一系列探测参数,如可变聚焦、可变图像大小、可变激光强度和可变激光聚焦。该机器设计为提供准确、快速的结果,具有四个焦点优化通道,使刀具能够执行一流的晶圆特性。它能够通过各种扫描模式(如FFT、直线扫描和矢量扫描)进行检查。此外,还对该资产进行了高速优化,减少了模型足印.该RS-75/TC还配备了软件,便于程序创建、调整和后维护故障排除。该软件具有宏可编程晶圆启动和完成扫描功能,还可以容纳复杂的二维和三维程序。此外,该设备还配备了后端映射软件,能够在单个地图中分析、存储和评估来自数百万像素的数据。该RS-75/TC提供高级控制和自动化功能,可快速准确地简化操作、检测和报告故障模式,并减少维护成本和生产周期。它的设计还考虑到低拥有成本,提供了先进的工具,例如自动校准和可靠的自我诊断,以确保系统能够在操作人员干预最少的情况下进行最佳操作。最后,TENCOR Omnimap Auto RS-75/TC是一个可靠、准确的晶圆测试和计量单元,旨在提供一流的结果并快速检测任何潜在的故障模式。它配备了自动化流程以最大限度地降低成本和操作员干预,并提供高级扫描技术和软件以简化操作、实现快速测量并确保可靠的结果。
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