二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35C #9211174 待售
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ID: 9211174
晶圆大小: 2"-8"
优质的: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Cassette autoloader
Wafer measures: up to 1264 Sites
Resistance: < 5 mohm/sq to > 5 Megohm/sq
Conductive layers:
Implants
Diffusions
EPI
CVD
Metals
Bulk substrates
Maps:
Contour maps
3-D Maps
Diameter scans
Die maps
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35C是专门为生产环境设计的高精度晶圆测试和计量设备。它能够精确测量各种大小和形状的晶片,从而实现高效的无损晶片测试。该系统能够检测晶片上极小的特征变化,以确保高质量的产品产量。KLA Omnimap RS-35C单元采用基于垂直扫描成像(VSI)的综合光学计量技术。配备高分辨率CCD相机和先进算法,对晶圆表面进行精确扫描和分析。这使机器能够准确地检测晶圆表面上的缺陷,如刮擦和点蚀。此外,该工具还执行高级薄膜厚度测量,以评估晶圆表面上薄膜层的均匀性。资产的自动化操作和高级扫描算法使其能够以最高精度快速处理大量晶圆。它还具有自动对准功能,可处理薄晶片和大晶片,并具有自动聚焦和除泡功能,以防止灰尘污染造成任何错误。此外,该模型还可以进行各种无损测试,如电气测试、线宽测量、薄膜映射和图像分析。设备装在一个小巧、方便用户的柜子里,并配有25.4厘米液晶显示屏,便于监控和操作。系统直观的图形用户界面(GUI)提供了易于设置和选择的配置和测量参数。此外,它还具有可选的嵌入式PC功能,并且可以与现有的自动化网络集成。TENCOR Omnimap RS-35C晶片测试和计量单元即使在最具挑战性的生产环境中也能提供高可靠性和精确的晶片质量控制。它使用户能够经济高效、快速的测试和计量操作,从而在操作中获得竞争优势。
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