二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9227292 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA是最先进的晶圆测试和计量设备。它设计用于大型内存和逻辑设备、晶片级和模具级设备。它是一个集成的、高精度的测量系统，结合了光学计量、电气测试、亮场/暗场成像、扫描电子显微镜等几种测量类型。RS-35CA单元在纳米级提供了最大的精度,并为各种测量类型提供了高可重复性,包括电气数据、光学参数、2-D阵列和相关性。它还为所有缺陷和丘陵缺陷的分离和上浆提供了很好的特征。该机器由一个多物理平台组成，该平台结合了光学计量、电气测试、阴影成像和扫描电子显微镜等各种扫描技术，以测量任何特定样品的确切尺寸和材料组成。该RS-35CA对每个样品的宽度、深度和高度进行高精度测量，提供三通道光学计量。这是结合了一个命令的交流和直流电气测试技术，使检测和表征设备缺陷。该工具还支持用于缺陷隔离和表征的亮场/暗场成像，以及用于分析样品结构的扫描电子显微镜。该RS-35CA还提供了一套全面的应用程序，使其适合各种芯片和晶圆测试应用程序。其中包括：线宽、线缘粗糙度、弓形/碟形测量、步高分析、反射成像、光谱分析和组成成像。此外,资产还支持数据分析、缺陷敏感性分析和面向过程的映射,使流程工程师能够了解其流程的行为。总体而言，KLA Omnimap RS-35CA模型是一种最先进的晶圆测试和计量设备，它结合了几种测量技术以获得准确、可重复和可靠的结果。它能够为大小内存和逻辑设备提供有关各种设备指标和参数的可靠信息。