二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9243618 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA晶圆测试和计量设备是分析半导体材料工艺参数的可靠而有力的工具。该系统建立在一个模块化的平台上，新设计的软件算法和软件体系结构。该平台能够更快地获取和分析数据,从而实现更快的决策和周转。该单元可以处理直径达8英寸的晶片，工作分辨率高达6,000 x 6,000像素。该机还能测试各种金属层、氧化物层、多晶硅层。该工具配备了几个关键组件，如以扫描运动布置的多个LED图样场外部照明器，一个在单个快照中捕捉图像的原位彩色CCD相机，一个处理数字图像的高速信号处理器，以及一个调整样品高度的高分辨率步进电机。此外,该资产还包括一个用于测试晶片结构的精密机械手和探头。这些元件被整合到一个高度优化的闭环模型中，可以精确地映射晶圆上的结构。设备不仅能准确表征晶片的工艺参数，系统还能对基板表面缺陷进行检测。它配备了高分辨率的视觉模块，捕获晶圆表面缺陷的图像。然后,该单元可以准确识别和测量基板表面的任何缺陷,如点蚀、针孔、突起和划痕。该机还能处理不同类型的不同地形的测试基板。例如,工具可以检测到表面拓扑结构的差异,并准确识别任何特征,例如台阶、井边和基板表面的其他结构。此外，该资产还能够在高度结构化的基板上快速测量层均匀性。该模型可以精确测量厚度、表面粗糙度和污染的均匀性。综上所述，KLA Omnimap RS-35CA晶圆测试和计量设备是一种先进、高效的半导体材料测量和检验工具。其集成组件，如原位彩色CCD相机、数字图像处理器、步进电机以及精密机械手和探头，使系统能够精确测量和检查晶圆特性，识别缺陷。因此，该单元是半导体工业的宝贵工具。