二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35e #9188382 待售
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KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35e是一种晶圆测试和计量设备,用于检查复杂的图样硅片。它旨在确保成品晶片的质量。该系统以高速度和高精度测试各种应用中的晶片。RS-35e单元采用散射测量和坐标测量显微镜(CMM)技术运行。这使机器能够精确测量图样晶片上的特征尺寸和地形。该工具设计用于半导体制造,在生产级吞吐量下无法手动检查图桉化晶片。RS-35e资产使用线性电动机驱动模型对图样晶片进行精确的高速测试。这样可以使设备达到最大测试速度,同时仍能提供准确的结果。它还配备了光束发生器和探测器,用于在晶圆上进行散射测量。这允许测量侧壁角、高度、宽度和面积。RS-35e系统还包括一个自动聚焦机制,可以调节不同尺寸晶片的聚焦。这样可以减少测试所需的时间,并确保各种晶片的准确性。该装置设计用于检测任何给定图样晶片的表面缺陷,确保成品晶片的质量。该机器包括高级过程控制和故障诊断功能,可帮助识别阵列晶片的任何潜在错误。它具有分析能力,可以检测非均匀性、缺陷和趋势,允许主动维护和解决潜在问题。该RS-35e工具非常可靠,能够以自动化的方式以高精度和高速度测试图样晶片。此资产非常适合用于半导体制造过程,因为它可确保成品晶片的质量,并减少与手动测试相关的时间和成本。
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