二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55C #9362896 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55C是一种综合性晶圆测试和计量设备,专为高生产率和卓越的质量测量而设计。它具有一整套工艺表征功能，如电阻率、薄膜厚度和掺杂测量，以表征晶片的电学和光学特性。该系统由两个扫描和计量阶段提供动力-一个全自动、半自动和手动测量站,可提供各种晶圆尺寸,范围从200毫米到300毫米。它还具有高精度的光学测量单元，具有超微米分辨率，用于先进的晶圆表面表征。该RS-55C配有集成的低真空和多气体开关，用于计量和化学气相沉积。它还提供了一个内置的校准程序，并附带了一套标准的第三方测量光学器件。这确保了准确和可重复的测量结果，并有助于确保所有测量参数都在严格的计量标准之内。此外，该机还提供先进的光声检测，用于测量微观特征和结构在晶片表面上的位置，以进行高度精确的处理。它还提供了与LabVIEW等软件的集成以及直观的图形用户界面,以便于控制和监视。这有助于简化计量和测量操作,并确保精确、可重复的结果。总体而言,KLA Omnimap RS-55C提供了一套丰富的高级功能,专为卓越可靠的晶圆测试和计量而设计。其高精度的光学平台和最先进的软件使其成为晶圆属性高精度测量的绝佳选择。