二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9182565 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是先进的晶圆测试和计量设备，KLA Corporation的产品。该系统提供了一整套功能,用于检查和平滑最复杂的IC设备。Omnimap采用自上而下的自动化检查方法,它利用高精度光学、高级探测器、照明系统和专用算法来精确、重复地在芯片上找到最微小的特征。Omnimap技术是围绕经过科学验证、半导体特定的应用而构建的，允许IC设计师在多个光刻工艺和电路架构中使用。该单元具有两个独特的组件：一个8英寸的基于地图的自动计量工具，以及TENCOR曝光机。这两项创新技术的结合提供了精确和可重复的计量测量和精确的岩石调谐控制。8英寸自动地图工具执行双光束显微镜，以准确评估晶圆的整个表面，包括其边缘。资产还评估CD均匀性（CDU）、衬里错误、抗填充、侧壁角度、存在虚拟模式、扫描仪设置和曝光参数。这样可以对曝光过程进行详细调整,确保对光刻过程进行准确的控制和优化。PROMETRIX曝光模型使设备能够在执行在线计量的同时调整过程参数,从而实现"晶圆到晶圆"一致性和提高设备性能。该系统还采用专有的焦平面阵列（FPA）应变计技术，提供了一种小体积的无损晶圆计量方法。此外,激光扫描单元（LSS）还提供了跨测试晶圆的高速扫描功能,使用户能够就曝光参数调整做出实时决策。KLA OMNIMAP RS-55/TC提供了对半导体的综合和全面评估，使得IC制造能够不断取得进展。这台机器允许对晶片进行精确、可重复的计量和平整，确保设备性能，并为制造商提供生产最佳IC所需的参数。由于其先进的技术和广泛的能力，TENCOR OMNIMAP RS-55T/C被认为是晶圆测试和计量领域的首要工具。