二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9263096 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是一种晶圆测试和计量设备,旨在对包括半导体器件在内的多种材料进行精确、可重复的测量。该RS-55TC具有强大的光学显微镜，能够对设备特性进行高分辨率测量，并能够检测和分析缺陷。RS-55TC的平台包括一个大而稳定的阶段，具有高分辨率、X-Y-Z扫描系统和一个高分辨率、旋转扫描阶段，用于晶圆模具、微盘和其他基板的非接触测量。此外，该单元还配备了精密的样品定位机，允许精确对准和定位探头点。该RS-55TC利用先进的激光干涉测量工具,以前所未有的30纳米精度测量表面异常,并能够测量临界参数,如薄膜厚度、步长偏差和线宽变化。RS-55TC资产具有内置的智能诊断功能,能够可靠地检测潜在的异常值和故障组件,并确保测试晶片的高收益率。该模型包括用于数据采集、分析和报告的集成软件,为计量和性能保证提供了扩展功能。这些设备可与其他科军系统配合使用，以提高监测能力，并与其他控制系统挂钩，以实现最终的灵活性和全面的自动化过程控制。KLA OMNIMAP RS-55/TC是一个先进的晶圆测试和计量系统，为测量器件特征和分析缺陷提供了无与伦比的准确性和可重复性。其灵活的平台，加上其集成的软件，为用户提供了一个全面的测试、测量和数据收集单元，所有这些都是过程优化和性能保证的必要前提。