二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC是一种自动化晶片测试和计量设备,它使用先进的光学检测技术在晶片制造过程中和之后测试其质量。该系统设计用于检查尺寸不超过200毫米的晶片,并用于测量尺寸不超过0.25um的特征。该单元利用彩色共焦扫描技术，创建晶片的高分辨率3D地图，精确测量横跨晶片的特征高度，以及光学干涉成像，以快速检查平坦度和晶片宏观地形。该机还采用横截面粗糙度计量工具，利用电动XY子系统和激光二极管光源实现0.5 μ m分辨率的溷合表面形态测量。该资产设计为完全自动化并集成到生产环境中,具有自动晶圆处理模型和各种晶圆交互选项。设备还提供工业级工艺控制能力，允许对多个工艺进行监控，并提供反馈以保持最佳工艺条件。该系统提供实时晶圆质量评估，可用于识别缺陷和监控过程均匀性。此外,该部门还提供高级数据驱动的分析报告功能,以帮助确定可用于持续改进的流程趋势。RS-55TC可以根据具体应用提供不同的测试结果，因为它是用晶圆检查和计量软件预先编程的。它可以被编程为加工由硅、砷化的、碳化硅等不同材料制成的晶片。该机器还采用了智能分页算法，能够识别合格晶片并确保良好的产量。综上所述，KLA OMNIMAP RS-55/TC是一种自动化晶圆测试和计量工具，旨在满足全球半导体市场的需求。该资产使用先进的光学检测技术来测量低至0.25um的特性,并提供工业级工艺控制功能以保持最佳工艺条件。它能够为不同的应用和材料提供不同的测试结果，并结合了Smart Binning算法来提高产量和降低生产中的浪费风险。