二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TCA #9261757 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TCA晶圆测试和计量设备旨在为半导体制造商提供全面的缺陷物理表征和分析。它将几种技术集成到一个统一的系统中，以解决用于生产和研究应用的晶圆计量过程。该单元的主要特点包括：敲击AFM（原子力显微镜）：允许对晶片表面的纳米结构进行高分辨率成像和实时测量。RS-50光栅：提供整个晶片表面的高速、非接触式计量，包括基板、接触垫和其他特征。海星边缘检测机：自动检测晶圆边缘,以便为后续成像和测量过程提供精确的对准信息。横向力显微镜（LFM）：能够以1纳米或以下的分辨率实时映射探针尖端和晶圆表面之间的力。同轴探针扫描：结合LFM,此功能可控制探针尖端偏转,从而生成精确的地形图。FPD-JV1010可变形镜：用于实时控制聚焦光束的入射角。这允许在多个方向同时进行高速成像。静电显微镜（EFM）：能够在非接触模式下进行纳米级成像和表面分析。"晶圆级"流体工具：通过调节真空和压力，以及襟翼阀，这一资产能够对流体级进行完全的对峙控制。这是用来精确输送流体，如偏振溶液或含有标记的流体，到晶圆表面。基于VME计算机的数据采集和控制模型：基于工业VME体系结构,该计算机允许实时控制仪器操作以及数据收集。这种晶圆测试和计量设备为广泛的表征需求提供了一个用途广泛、精确、功能强大的平台。KLA OMNIMAP具有先进的成像能力和广泛的分析选项RS-55/TCA非常适合生产和研究应用。