二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA #9260211 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75/TCA是为满足半导体行业的严格需求而开发的高端晶圆测试和计量设备。这套先进的系统可提供快速、准确和可重复的晶圆级测试和计量服务,用于10英寸晶圆项,生产负载既低又高。它采用先进的光学设计来精确测量和绘制各种表面特征和缺陷。该单元有多个专门为晶圆分析设计的模块，如RS-75晶圆映射机、TCA映射工具和KLA Omnimap。该RS-75专门为晶圆区分/映射、模模检验而设计，并提供机器人辅助的自动化装卸。它具有精密的线性编码器,可提供无接触、精确的位置精度。TCA Mapping Asset能够识别RS-75晶片上模模对齐的模式,并具有适当缺陷检测和攻击的定量分析模型。另一方面，TENCOR Omnimap优化晶圆和子模具级的缺陷检测和分析，可以检测到丘陵、应力缓解模式缺陷、小斑点等多种类型的缺陷。设备还配备了一套综合硬件和软件，用于测试和计量。这包括用于制定分析过程计划的编程系统、有助于捕获高分辨率图像的高分辨率成像头以及用于导出和显示报告的数据采集和分析工具库。总体而言，KLA Omnimap RS-75/TCA是自动晶片测试和计量的绝佳选择，因为它提供了一系列功能来提供晶片的全面测试和分析。它通过全面的硬件和软件以及可靠的数据分析,确保了最佳的准确性和可重复性。