二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9162058 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75是一种高性能晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆的精确表面检查和工艺表征。它结合了先进的自动光学检查（AOI）设备和精密的综合计量，用于精确的晶圆级测量。该RS-75的测量精度优于1微米（1 μ m），使得各种晶圆材料和基材类型的高分辨率成像和测量成为可能。该RS-75是一个快速、大面积的表面分析系统，将多种计量技术结合为一个平台。它配备了一个五轴晶圆级，可以从集成控件进行管理，用于广泛的应用。五轴运动和高精度计量方法使得高速扫描和检查大面积晶片成为可能。它还确保快速和准确地测量任何不规则的特征，如划痕、凹坑或污渍，并结合先进的光学和轮廓成像。为了进行表面检查，RS-75采用了高效的光场成像技术和先进的光学器件。它能够捕获各种配置的图像,最大分辨率可达5 µm。而且，多级照明单元可以进行透射、倾斜、反射和散射模式检查，可以检测到各种特征和缺陷。该RS-75也是一个先进的计量平台，为精确尺寸计量提供多种工具。它采用非接触式3DPro光谱技术，利用光反射率高精度测量表面轮廓。全向和非接触技术也使得晶圆表面的3D重建能够进一步分析。该RS-75还具有广泛的用于数据采集、处理和分析的软件工具。除了自动特征识别和模式比较之外，软件还可以自动生成报告，方便地进行分析。总体而言，KLA Omnimap RS-75是一种功能强大的晶圆测试和计量机器，设计用于高精度表面检查和工艺表征。它带有高级成像和计量方法,以及用于自动识别和报告特征的软件工具。它是晶圆制造商质量控制和工艺开发的理想平台。