二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9163055 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75是一种晶圆测试和计量设备，能够快速准确地分析半导体晶圆。该系统由一个晶片级组成，该级可以传输最大尺寸为300 mm的半导体晶片。该装置配有高性能光学器件（最大放大400X倍）以及各种内置传感器和检查工具，可以对晶片进行详细检查。该机能够测量表面地形、表面平面度、电阻率、厚度、缺陷密度等参数。该RS-75具有两种检测系统-聚焦检测和散射检测.聚焦检测工具利用一个激光束被引导到晶圆表面，以测量表面不规则高度到0.1微米的分辨率。散射探测资产利用激光通过晶圆，允许对表面特征进行自动检查。该模型还包括一个可编程的自动非接触式三轴晶圆级。这样可以在设备中精确定位晶片,以便进行精确的测试和检查。此外,系统还配备了高速图像采集装置,每秒可捕获数千张图像,以实现最高的测试精度。KLA Omnimap RS-75支持Auto Map软件，该软件允许用户预先设置测量参数，并相应地拥有机器捕获和分析数据。该工具还包括一个完全可编程的基于GUI的用户界面，可以方便地设置和分析数据。该资产的设计可实现最大的可重复性和准确性,适用于各种应用,包括晶圆表面计量、缺陷检测、故障分析等。其先进的光学、高效的测试和自动化的测量使其成为要求最苛刻的半导体晶圆测试应用的理想选择。