二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #293662983 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一种晶圆测试和计量设备，设计用于生产级故障分析和内联晶圆计量。它提供了先进的晶圆测试系统,可提供快速、高精度的故障分析和路由决策。该系统为先进的过程控制（APC）和产量管理操作提供精确的表面计量。该单元将高效的多传感器测量仪器与功能强大且可配置的用户界面结合在一起，为准确快速的分析提供了一个集成平台。机器还包括自动化的软件工具，允许快速识别关键缺陷和产量分析。KLA P-20H能够高速测量,以满足生产级测试的需求。该工具具有高度精确、快速和可重复的测量功能,使其能够提供测试和计量结果,使制造工程师能够识别具有挑战性的制造问题。资产测量各种表面参数如不透明度、反射率、厚度、光学均匀度和粒度。它还可以配置为测量关键特征,如模具边距、设备间距、迭加和线宽测量。该模型提供各种晶圆测试和计量自动化选项,使其能够用于在线计量和离线故障分析。可以对设备进行编程，以监测和分析晶片测试结果，并在发现数据异常时采取自动纠正措施。此外,系统还支持高级可视化工具,使用户能够快速识别拓扑和几何模式,以及与过程相关的缺陷,如线宽违规、设备与设备之间的错误对齐以及过度/不足蚀刻。TENCOR P20H单元具有模块化设计,可以将其配置为满足特定的测试和计量需求。它由一个中央单元和几个可以集成或拆卸的模块组成。每个模块都可以定制用于晶圆测试覆盖范围或使用,例如用于参数测试和表面计量、同时晶圆检查、特征分析或薄膜厚度和电阻率测量。总体而言,P-20H为用户提供了一台精密的晶圆测试和计量机器,可同时执行在线和离线测试。该工具的模块化设计和灵活性使其能够用于生产级测试和计量操作,以及过程和产量管理操作。它的自动化测试和计量选项使它能够提供快速、准确和可重复的测量和决策,使用户能够快速高效地识别具有挑战性的设备问题。