二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9101209 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H设备是一种高通量晶圆测试和计量系统,为高级缺陷审查、晶圆缺陷报告和改进的设备性能表征提供了总体解决方桉。KLA P-20H提供卓越的精密晶圆和封装器件计量，并具有先进的缺陷审查能力，便于过程验证和提高产量。TENCOR P20H能够支持各种直径可达300 mm的晶圆,分辨率可达1 µm, 3D非接触剖面仪,光谱成像系统,光刻工具,干涉测量和散射测量解决方桉,以及高密度缺陷检测和吞吐量。该单元的最大吞吐量高达461 wpm,并支持多种晶圆模式,包括平面、via、线键和双面。该机器还具有高级缺陷审查工具,允许用户快速隔离和分类缺陷,以便评估流程、确定根本原因以及改进产量和流程控制。P-20H支持自动化审查过程,以及对复杂结构（如多平面测试结构）和高级FIB样品准备的手动审查。此外,该工具还能够对封装设备和MEMS设备进行晶圆级计量,从而提供有关性能的快速反馈。该资产配备了直观的用户界面,允许用户快速设置新项目、查看结果和运行报告。此外,该模型还包括软件工具,使用户能够快速分析数据并生成图表以供查看。该设备还能够与审查站、缺陷分类系统等第三方组件集成。总之,PROMETRIX P20H是一个高通量晶圆测试和计量系统,旨在为过程验证和产量改进提供卓越的精度和高级缺陷审查功能。该单元允许多平面晶片阵列、缺陷审查和封装设备特性鉴定,吞吐量高达461 wpm。此外，人性化软件使快速设置实验和分析结果变得容易。最后，机器还可以与其他组件集成，为晶圆测试和计量需求提供有效的总解决方桉。