二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9111707 待售
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ID: 9111707
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Surface profiler, 8"
Options: SECS / GEM
Wafer shape: Semi Notch No Flat (SNNF)
Cassette port
MIRAIAL KM-803P-K Wafer cassette, 8" PP
PC
Micro head 1 LF sensor
Open handler, 8"
STAR JR-100 Graphic printer
No SMIF
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H晶圆测试和计量设备是一种自动化的高精度计量系统,专为各种关键晶圆测试和计量应用而设计。该单元提供了复杂的设计和高级软件体系结构,使用户能够精确、快速地执行各种测量任务。KLA P-20H利用了一系列直接驱动级,在表面和复合计量测量中提供了极高的精度。该级配备了铅螺钉和线性编码器/伺服电动机,以实现高速、高分辨率的性能。台阶还采用低重心设计,确保了可靠的测量,没有漂移。TENCOR P20H具有强大的图像识别机和最先进的光学成像功能。这套复杂的先进技术集成包允许以更高的精度和可靠性测量样品表面。该工具最多可配置6个摄像头,可提供卓越的边缘识别能力。图像采集和分析过程是完全自动化的,这样可以加快样品测量周期,提高准确性。P-20H设计用于各种样本量和形状,包括地形复杂的样本量和形状。资产允许进行一系列测量,包括临界尺寸(CD)、迭加和其他3D计量功能。此外,该模型还设计用于晶片到晶片和晶片到掩模的对准测量。KLA P20H提供强大的设计和各种高级功能。它还提供了三种不同的测量模式,如静态、高分辨率和低分辨率。在静态模式下,KLA/TENCOR/PROMETRIX P20H能够比其他计量解决方桉更快地收集数据样本。在高分辨率模式下,该设备能够以更高的精度和可重复性收集样本数据。最后,在低分辨率模式下,系统提供低噪声图像,图像质量得到高度提高。PROMETRIX P-20H旨在提供有关测量结果的实时反馈,以及数据存档和报告生成功能。该单元还支持广泛选择晶圆测试和检查过程。精确度、可靠性、高速性能和高级功能的结合使其成为实现精确晶圆测量的理想解决方桉。
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