二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9188378 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H是一种专门为检查半导体晶片而设计的晶圆测试和计量设备。它具有自动计量序列,可执行全面的2D计量功能,以实现快速清洁室测试结果。该系统配备高速机动化级、基于模型的算法，以及二维、多传感器的特征大小和形式检测。KLA P-20H可以测量台阶高度、所有基板上的CD轮廓、迭加、电气参数等。该单元配备了光学显微镜，其中包括用于最高质量成像的明亮白光LED模块。还提供了从5 X到50X的物镜，以提供各种放大倍数，更好地关注小特征。TENCOR P20H还利用自动采样阶段,以每小时200晶圆的速度确保精确和快速的计量,使其成为快节奏生产线的绝佳解决方桉。该机还融合了广泛的功能，如其自动报表生成、直观的用户界面、ANSI标准兼容缺陷检测软件、可自定义参数设置的库以及CD配置文件的详细分析。此外，KLA P20H对多种晶片处理技术（即石英、塔架、露天卡盘）和各种基于视觉的计量技术（例如VIS、SPL、SEM、AFM、X-Ray）提供了综合支持。此外,P20H工具与E-AIMS企业系统完全兼容,提供了与高度详细的自定义数据报告的无缝集成。此外,可以从常规PC轻松调试该资产,从而消除与安装专业人员相关的任何多余成本。总之，P-20H是一个高性能的晶圆测试和计量模型，使测试吞吐量和准确性最大化，使其成为各种应用的理想选择。设备配备了先进的光学、自动报表生成、直观的用户界面、多种晶圆处理技术支持，以及多种基于视觉的计量技术。此外,由于它与E-AIMS企业系统兼容,该系统提供了无与伦比的灵活性和集成能力。