二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9212478 待售

ID: 9212478
晶圆大小: 8"
Long scan profiler, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H晶片测试和计量设备为生产和研究应用提供了高效、准确的晶片测试和计量。这个先进的系统由许多测量晶片的元件组成,包括测试阶段、测量单元和对齐机。该工具的测试阶段部分用于测试和分析不同尺寸、形状和100-500微米厚的晶片。该级包括一个带有激活和控制面板的真空资产和一个手动操作的X-Y转换器。它最多可容纳6个晶圆,并提供一个可调节的高度平台,用于在舞台上固定碎片。晶片可以与后台运行的测试程序单独或同时测量。测量模型包括激光干涉仪、位置传感器和晶圆跟踪软件,用于高分辨率成像和测量能力。测量设备与晶片级耦合,提供晶片表面地形和构型的精确测量。另外,晶圆跟踪软件可以检测缺陷,测量晶圆临界尺寸,跟踪晶圆厚度的变化。最后,对准系统由激光二极管投影单元和高精度摄像机组成。相机使激光二极管能够精确对准晶片表面,以便精确测量和检查晶片表面。它还能够纠正由于晶圆内的运动而可能发生的任何对齐错误。KLA P-20H晶片测试和计量机是一种先进的工具,用于晶片的精确和高效的测试和计量。它可以提供晶圆表面地形的精确测量,检测缺陷,测量临界尺寸,跟踪晶圆厚度的变化。高级对齐资产还可以校正由于晶圆内的移动而可能发生的任何对齐错误。该模型非常适合生产和研究应用。
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