二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9243003 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H晶圆测试和计量设备旨在测量半导体晶圆生产中的关键尺寸。该功能强大的系统用于缺陷检测、晶片边缘搜索、晶片图生成、2D覆盖、表面高度测量和其他新兴应用。该单元由一个晶圆处理程序、一个检验阶段和两个成像光学器件组成。该处理程序能够在单个6英寸晶片盒中处理多达90个晶片，并且可以安全地将晶片往返检测站。这样可以确保可靠和安全的晶圆处理和运输。晶圆处理程序被编程为管理卡带加载、传输、卸载和转移，为批量和单个晶圆进程的多种配置提供了灵活性。检查阶段有一对精密的成像光学器件，可用于检查晶片的表面和临界尺寸分析。成像光学器件可以检测各种缺陷，包括结核、平坦斑点、反射率、分子取向、晶圆厚度、高度和表面粗糙度。光学器件具有较高的动态范围，能够对结构成像，比晶圆处理程序的分辨率小2-4倍。机器还包括一个集成缺陷标记工具，可以识别和标记缺陷晶片。此标记过程消除了手动缺陷分类和相关时间成本的需要。精密计量工具能够在300 mm晶圆上测量10 nm，总晶圆测量精度为2.4 μ m。KLA P-20H在相对较快的扫描时间提供晶片的精确、高分辨率图像。转向、数据采集、计量能力和缺陷分析相结合，使资产能够快速准确地测量和表征晶圆。该模型适用于晶片上的颠簸晶片、通道模辊等先进封装应用。此外,该设备还非常适合进行故障分析和模具测量。总体而言，TENCOR P20H晶圆测试和计量系统旨在为半导体生产提供卓越的性能和显着的成本节约。PROMETRIX P-20H具有可靠的晶圆处理、高度先进的光学设备、易于使用的缺陷标记单元以及高度精确的计量工具,是市场上最通用、最先进的晶圆测试和计量系统之一。