二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX P22 #9188384 待售
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已售出
ID: 9188384
晶圆大小: 8"
Automated surface profilometer, 8"
Automated wafer handler
Open loader for 8"
Computer controlled
Scan method: Moving stage, stationary stylus
Scan length: 205mm (8")
Scan speed: 1 μm/sec to 25 mm/sec (0.04 mil/sec to 1 in/sec)
Sampling rate: 50, 100, 200, 500, 1000 sample/sec nominal
Vertical ranges
Resolution:
±3.2 μm / 0.5 Å (±0.13 mil/0.002 μin)
±13 μm / 2 Å (±0.51 mil/0.008 μin)
130 μm / 10 Å (±5.1 mil/0.04 μin)
Vertical linearity: ±0.5% above 2000 Å, 10 Å below 2000 Å
Stylus control: Programmable force
MHII range: 0.05-50 mg
Resolution: 0.1 mg
Programmable descent rate
Dual view optics
Side view optics: 150-600x
Top view optics: 185-750x and 300-1200x (with user interchangeable lens)
Operations manual.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P 22是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在提高测试和检查过程的准确性和重复性。该系统提供视觉、对准和测量的组合，大大增强了半导体元件和晶片的质量保证。该单元的核心是Turbina Optics Platform，它为晶圆的传统图像和三维立体图像以及测试特征提供高速图像处理和分析。该平台每小时可快速识别和分析多达265个晶片,是行业标准的两倍多。它还支持各种视觉系统，从最基本的到最先进的。KLA P 22还具有先进的晶圆缺陷检测功能。这包括一台能够识别和分类单个晶圆中多达5,000个潜在缺陷的自动缺陷检查机。这是除了它的晶圆计量学特性之外，它允许工具精确测量晶圆、设备属性以及任何其他可能存在的特性。结合这些特性，确保每个晶片都能以最高的精度和精确度进行测试和检查。TENCOR P 22具有简化晶圆测试和检查过程的直观用户界面。用户可以从各种测试和测量设置中进行选择,以根据需要自定义资产。此外,该模型还支持高级数据分析功能-数据可以快速评估并用于提高过程控制和产品产量。总体而言，P22是那些希望提高测试和检查过程的准确性和可重复性的人的理想设备。该系统具有先进的视觉、对准、测量和缺陷识别能力,可确保产品质量和可靠性达到最高水平。
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