二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9230282 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100晶圆测试和计量系统是一个综合性的自动化平台,它将一整套自动化测试和计量系统合并为一个统一的系统。它提供了从晶片到晶片跨不同晶片材料和技术的完整晶片级工艺能力。KLA Quantox 64100使用户能够通过高分辨率成像、缺陷检测、晶圆级测量和屈服分析来精确评估晶圆质量。TENCOR Quantox 64100是一个集成的成像和计量系统,旨在检测和报告缺陷,提供无与伦比的过程稳定性和可重复性。它配备了1轴和4轴成像系统、自动缺陷审查功能以及各种光谱仪。它具有晶圆映射工具、全彩色成像、自动对焦、高级对比度控制和自动化计量测量工具。这允许用户精确测量土地,并通过高达三维（3D） ROM、RPO和WLG值的参数进行测量。除了成像和计量系统，Quantox 64100还包括一套数据分析工具。它对从测试和计量系统收集的数据进行了综合、自动化的分析，促进了对该过程的深入了解。此数据分析套件使用户能够生成产量和吞吐量报告、高级分析可视化以及预测图表。PROMETRIX Quantox 64100能够在包括石英、硅、多晶硅、蓝宝石和陶瓷在内的各种基板上检测、测试和测量晶片。它还为需要最高分辨率和准确性的专用应用程序提供了许多高级选项,例如增强的视觉和缺陷识别软件。KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100专为最大正常运行时间和快速转换时间而设计,使用户能够快速交换配置以满足不断变化的流程要求。它还具有自动化的维护例程和诊断支持,并具有高级远程监视和控制功能。总体而言，KLA Quantox 64100是一个全面、自动化的晶圆测试和计量平台。它提供了完整的晶圆级过程控制、先进的成像和计量系统以及强大的数据分析工具。它提供了最大的正常运行时间和高吞吐量,使用户能够快速可靠地分析各种基板上的晶片。