二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆上各种特征的高精度测量。该系统允许同时分析多个平面和特征,并为不同的生产任务提供快速的周转时间和轻松的自动化。KLA Quantox 64100专为测量紧密的过程控制参数而设计，如线宽和螺距、蚀刻深度和沉积厚度。该单元具有集成的3维（3D）降噪软件,无需手动对齐,在测量密集特征时可获得准确的结果。它还采用光学计量技术构建,以帮助确保在广泛的参数范围内一致准确的计量结果。TENCOR Quantox 64100配备了业界领先的信噪比（SNR）,可提供准确的测量结果并最大程度地减少错误,同时保持高吞吐量。该机集成了一个可变数值孔径（NA）目标，这意味着它可以快速调整来测量小特征，以及数个平面或重迭特征的阵列。其他功能包括提供最大精度的低噪声检测器,以及对不同深度特征的高分辨率、高对比度图像捕获。此外,该工具还采用了一些创新技术,例如增强光束路径以提高测量精度,以及提供均匀照明以在整个样品中进行更精确的测量的LED照明。PROMETRIX Quantox 64100还集成了动态镜头补偿器（DLC）和增加的镜头散射路径（LSP）补偿技术，提供了很长的工作距离，减少了异常的光路现象。此外,该资产还配备了EDEN功能测量软件,用于自动多维特征识别,从而显着缩短了测量时间。总体而言,Quantox 64100是一种可靠的晶圆测试和计量模型,专门针对需要严格过程控制的应用进行了优化。该设备具有先进的降噪、增强的光束路径、均匀的照明、DLC技术和多维特征识别等功能,可提供一致准确、高精度的结果,满足当今高科技行业的需求。