二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox #9193136 待售
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ID: 9193136
Wafer measurement system
Chuck: 8"
Open cassette with BROOKS PRI single end effector robot handler
Dual open cassette
Measurement head: LD / CO
Oven
Signal tower
UPS: No
Hardware configuration:
Load port: (2) Open cassette stations
Quickmap head
PDU
FG1 / FG2
Facilities:
Input power: 200 VAC +/-5%, 50/60 Hz
Input vacuum: 610 mm Hg
Input CDA: 75-100 PSI
Input N2: 75-100 PSI
Exhaust: 2000-4000 L/min
Currently crated.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox是一种完全集成的晶圆测试和计量设备,设计用于生产和研发环境。KLA Quantox拥有各种强大的仪器,提供全面的晶圆计量和测试能力。该系统由基板支架、计量工具、晶圆检验单元和计算机控制机器组成。基板支架是放置抛光晶片进行进一步加工的工具的底座。它通常是自动或手动装载机,允许将晶片快速准确地装入机器。TENCOR Quantox的计量工具是一种功能齐全的微光计量资产。它使用自动聚焦和放大控制模型同时测量多达四个晶片。它强大的激光光学测量晶片的特点,而它的多段光学提供自动配合和完成,以确保精确的测量。晶圆检测设备也是一个强大的工具。它利用独特的光学系统来检测晶圆表面上粒子或其他异物的存在。它还配备了多种其他检测技术,如X射线、电子束或荧光显微镜,以便能够对晶圆表面进行详细分析。Quantox的计算机控制单元旨在提供一个强大而广泛的控制环境,以实现最大的灵活性和易用性。其直观的图形用户界面(GUI)具有全面的控制选项,包括过程映射、配方数据管理、数据分析和其他专门的控制功能。PROMETRIX Quantox是一款功能极其强大且用途广泛的晶圆测试和计量机器。其特点和性能使其成为任何生产或研究环境的理想选择。它提供全面的晶片表面测试和分析能力,保持生产成本低,并确保一致的晶片产量结果。
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