二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293610237 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一种自动化晶圆测试和计量设备。用于检测和测量半导体晶片和器件的均匀性和电气特性。KLA RS-100利用一个获得专利的多重测量解决方桉（MMS）平台,该平台结合了最先进的晶圆测试和计量技术,如扫描声学显微镜（SAM）、光学显微镜和X射线地形。TENCOR RS100是为了对复杂的半导体器件结构和材料进行高效、准确的分析而设计的。它与先进的自动缺陷检测和审查系统集成在一起，不仅加快了机载分析的速度，而且能够检测和定位纳米级缺陷。该单元还与先进的D波束自动模式识别机集成，允许精确的晶圆迭加度量和控制。TENCOR RS-100具有多种自动化测试和检查功能,可确保晶圆特性的均匀性、重复性和精确测量。它的多区跟踪功能自动跟踪多焦平面上的晶圆数据和缺陷,而多参数测量功能同时计算多个参数,如表面粗糙度、厚度、掺杂浓度、电子显微镜（EMMI）-像素分析和均匀性。该工具还包括自动漂移补偿技术，用于监测和补偿机械失真。该资产配备了一个高速X射线成像子系统，能够测量晶圆均匀度和线宽变化，一个用于快速定位缺陷的实时成像模型，以及一系列用于增强和改进晶圆功能的自动化分析工具。此外,KLA RS100还配备了光学辅助对准设备,可提供精确的CCD对准和光学特性。PROMETRIX RS-100系统与现有硬件和软件系统无缝集成,并提供可选的软件开发工具以扩展其功能。因此，通过优化其综合计量和测试能力，RS100确保晶圆开发过程获得准确和可重复的结果，使半导体器件制造商能够向市场提供高质量、可靠的产品。