二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293628453 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一个功能强大但用途广泛的晶圆测试和计量系统。它利用先进的计量学技术，能够增强过程控制和数据分析，从而在晶圆处理中实现更快、更准确的决策。KLA RS-100采用紧凑的设计,非常适合测试实验室和狭窄的空间。它的空间效率和模块化体系结构包括一个高分辨率的光学Disovery System （ODS），可以按双配置或四配置排序。这样,最多可以同时进行四种特定测量,如CD、焦点、凹槽或迭加。此外，ODS足够大的样品室非常适合检查具有全范围照明的较大样品。TENCOR RS 100的性能通过使用其先进的分析算法得到了进一步提高,该算法能够无缝地比较模具尺寸变化和许多测量的模式。它强大的软件功能还提供了各种测量模式的准确性、速度和灵活性,包括表面地形、轮廓、迭加、线宽、缺陷和图像分析。它还提供了卓越的迭加对齐方式、线宽测量以及在特征级别上难以精确测量的其他特征。RS-100拥有许多功能，使其成为晶圆测试和计量的首选。其集成的光学设备提供了卓越的可重复性和准确性,而其自动化功能则实现了快速、轻松的设置和操作。人体工程学设计包括一个大型触摸屏面板和用户友好界面,内置帮助功能可减少设置时间、提供指导并最大程度地减少用户错误。它还配备了快速偶极和极地照明、4倍电子缩放、半透明光学背光、与热和环境温度控制器并用的先进照明能力。此外，KLA RS100与KLA Data Acquisition and Analysis Software（DAS）兼容，让用户分析数据以识别过程趋势，进行更准确的数据分析。总体而言，RS100是测试和计量需求的理想选择。它提供了一系列特性和功能,使其适合各种测量、过程和应用程序。TENCOR RS-100具有模块化设计、卓越的光学性能和分析能力,提供了精确和快速的性能,是晶圆测试和计量的绝佳选择。