二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9072401 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一个革命性的晶圆测试和计量系统,它在一个模块化的自动化平台中提供卓越的性能。该平台包括五个关键过程，包括缺陷审查、粘合、标线图桉、反射率和地形。缺陷审查过程扫描晶片是否存在缺陷,并创建一个全面的缺陷报告。报告概述晶片的缺陷和错误,包括位置、类型和严重性。此过程可以检测小至25 nm的特性,而无需额外的光学设备。键合过程允许以非常快的循环时间创建可靠的线键和带键。这一过程使用精确的压力控制算法，确保无论晶圆的质量和条件如何，都能施加正确的键合力。此外，该工艺能够粘合任何大小的晶圆。标线图样过程允许在晶圆上精确复制标线图像。该过程具有很高的可靠性，利用先进的算法实现精确的控制和精度。此外，它能够在铝、硅、金等各种材料基板上复制标线图桉。反射率过程确保了对晶片反射率的精确控制，而无需进行机械调整。这允许控制和高度精确的反射率输出。地形过程需要对晶片表面进行详细的测量，以进行晶片稀释和制备粘结。这一过程是完全自动化的，不需要体力劳动。总体而言，KLA RS-100晶片测试和计量系统为晶片测试和计量应用提供了一个自动化的高性能平台。该系统具有五个中心过程、先进算法、精确控制、高精度，是测试和计量专业人士的理想选择。