二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9123627 待售
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已售出
ID: 9123627
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2006
Resistance mapping system, 8"-12"
Single open cassette handler
Robot: ATM-107-2-S-CE-S293
Single fork
Controller: 6-0002-0865-SP
Trackball and keyboard standard
Alignment system: Camera
Factory automation: E40, E94, E90, E87
PC Configuration
CPU: PIII 850 MHz
Memory: 512 MB RAM
70 GB Fixed hard disk drive
17" VGA Monitor
CD-ROM Drive
Diskette drive capacity: 1.44 MB
Software configuration:
OS: Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version: 2.31.04
Resistivity tester firmware: 1.02a
Measurement specification:
Measurement range: 5m Ohm/sq - 5m Ohm/sq
Absolute accuracy: 1% of NSIT certified range
Temperature accuracy: 0.5°C
Temperature repeat-ability: 0.2°C
Routine check: 1-30 sites programmable
Single or dual configuration capability
220 V, 15 A, 50/60 Hz, 1 Phase
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100晶圆测试和计量设备是一种用于薄晶圆检测和表征的多用途解决方桉。采用专利绿色激光技术和先进的图像处理算法，为精细样品表面的非接触式检测提供了更高的准确性、速度和可重复性。它能够以10 nm至10 mm的精确度进行测量，适用于从半导体计量和光刻到平板显示器和太阳能电池计量和检查等一系列应用。该系统的主要功能包括：1.采用低能绿色激光装置,提供卓越的分辨率和功率稳定性.因此，不需要额外的聚焦机或样品制备。2.自动化的图像处理算法，以及提供完整的可编程性和鲁棒性的操作。3.10 nm至10 mm的宽测量范围。4.高精度和可重复性。5.粘接和固定式注销功能。6.高覆盖精度,操作范围在50 nm以下。7.在晶圆级进行处理,以便在单个芯片上获得所需的所有测量值。8.缺陷分类、地形和横截面成像。9.检测和隔离不同类型缺陷的能力。此外，它还包括先进的基板处理技术，以及各种核心系统和选项，这些系统和选项可以结合并根据特定的要求量身定制。其中包括晶圆定位传感器和执行器，以及先进的模式识别软件。所有这些功能确保KLA RS-100提供卓越的性能、准确性和适应复杂的晶圆计量和检查应用。
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