二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9206414 待售

来自KLA的KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一种高性能晶圆测试和计量设备，结合了先进的计量技术和直观的用户界面元素。其高吞吐量、准确性和可重复性使其适合一系列苛刻的应用，包括故障分析、图桉化晶片测试和光学缺陷检查。KLA RS-100的核心是其精密的光学系统，具有电动Z级和高度映射阵列，可对晶圆特性进行高精度测量，同时减少测量和定位误差。该装置的力学设计能够提供平滑的操作，具有低漂移和振动，并提供纳米尺度的精度。除了先进的光学机外，TENCOR RS100还配备了多种工具进行测试和检查。光源阵列和成像系统允许工具执行光学缺陷检查、光源扫描和背面晶圆检查任务。光学图样识别资产允许识别具有复杂图样的晶片中的缺陷。还包括一整套计量工具，提供厚度、电阻率、板材电阻和板材电容等测量。TENCOR RS-100包括一个直观的用户界面,允许轻松操作。它包括一个智能用户指导模型，它自动建议给定应用程序的最佳测试或检查设置，以及失败测试的自动重新运行选项。用户界面的直观性质还允许以最少的培训操作设备。最后,RS100系统设计为可扩展和可定制,以满足一系列特定应用程序的需求。还提供了多个晶片级和各种测试夹具等附加功能,使设备能够适应一系列任务。总体而言,PROMETRIX RS-100是一台可定制且可扩展的高性能晶圆测试和计量机器。KLA RS100具有先进的光学、全面的测试和检查功能、直观的用户界面和可扩展性,非常适合一系列要求苛刻的晶圆计量应用。