二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9222500 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100是一种高端多传感器晶圆测试和计量系统，设计用于检查半导体器件结构。它是一个集成、联机的系统，能够快速、准确地测量、检查和分析样品。KLA RS-100配备了三个主要组件：光学显微镜、干涉仪和纳米扫描仪。光学显微镜用于测量晶圆上单个器件的形状、大小和拓扑。它的干涉仪精确测量晶圆的平整度和均匀度，而它的纳米扫描仪则可以检测到颗粒和其他低于纳米尺度的缺陷。这种强大的传感器组合使TENCOR RS100能够评估晶片表面纹理的质量并与标准进行比较。它还检查颗粒污染、线宽变化、步高、污染、接触和颗粒等缺陷。RS100提供了广泛的工业上接受的计量方法，包括激光辅助共焦计量、透射率方法、多个参考点和视线分析。集成的设计和软件支持自动数据收集和分析功能。RS-100包括照明良好的现场检查环境和具有直观图形用户界面的高分辨率平板显示器。该系统可以与其他KLA系统集成,以获得更多功能。PROMETRIX RS-100在晶圆测试、计量和缺陷检测方面提供了可靠且可重复的结果。其集成能力和易用性使其非常适合生产线、研发和工艺鉴定应用。它与一系列软件平台兼容，如TENCOR WaferMap、DBU和Microsoft Windows。