二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100C #293765567 待售

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100C是一种晶圆测试和计量设备,能够对直径达300 mm的半导体晶圆进行检测和计量处理。它使用先进的成像、光学对准和晶片表面表征技术，以确保高级设备测试的最高精度和可重复性。该系统基于光学显微镜,可精确测量平坦度、形状、CD轮廓、平面几何形状和形状区域等关键特征。它能够成像和测量表面地形、特征边缘、切割特征和其他敏感的晶圆图样。大型样品和传感器级可容纳8英寸大小的基板,并允许进行完整的晶片检查。该单元包括获得KLA专利的自定心和索引晶片处理技术，以促进晶片和传感器级之间的精确对准。该机还配备了高精度干涉自动对焦子系统，允许在测量过程中进行自动晶圆对准和探针接触。KLA RS-100 C的高清成像工具具有高分辨率彩色成像功能、自动缝合和模式识别功能以及精确的晶圆级迭加测量。先进的成像功能（如最先进的彩色成像、聚焦深度和DoF扫描）,可实现模具级迭加、卸载层检测和沉积层剖析等应用。除了成像和测量能力外，TENCOR RS-100C还能够实时分析电晶片数据。它支持数据收集、关联和分析功能,使用户能够快速识别缺陷人群中的模式并利用这些模式来提高设备性能。该资产能够跨多个层和深度进行集成测量。这样可以测量临界控制参数,如蚀刻深度、侧壁粗糙度、侧壁角度和自动对焦偏差。此外,它的自动化3D扫描子系统允许通过一次扫描同时测量多个层和深度。总之，RS-100C是一个先进的晶圆测试和计量模型，能够为多层和多深度的关键特征提供准确的测量。其集成的电气数据分析功能使用户能够快速识别缺陷模式、优化设备性能并提高产量。PROMETRIX RS-100C拥有先进的成像和测量软件、最先进的光学对准增强功能以及自定心晶片处理功能,是满足晶片表征和测试要求的理想解决方桉。